電遷移評估系統-AME系列測量方案
      隨著半導體器件小型化的發展,在嚴苛惡劣的條件下評估電遷移變得至關重要。
      AEM  系列電遷移評估系統提供基于溫度和電流應力(影響設備使用壽命的兩個主要因素)的準確測量,以及用于確定判斷設備壽命所需參數的分析軟件。
      AEM  系列旨在實現從嚴苛評估到生產管理的廣泛評估需求,提供增強的可操作性、可靠性和簡化的數據分析。
350°C  下的電遷移評估
表現
效用
軟件
分析軟件
規格
系統變化
系統框圖
配件
選項
安全設備
監控畫面
條件設定畫面
40通道評估測試一個柜子里有超過3個烤箱
連接板
高達  350°C  的精度高的溫度控制
四種測試模式
電流應力應用高達200mA
高可靠性雙觸點板結構
2個通道  (DUT)  =  1個插座5個插座  =  1個DUT板8個DUT板  =  1個烤箱
3個烤箱  =  1個櫥柜至多80個通道或DU可以在單個烤箱中進行測試,使其240每個機柜的頻道。主機PC,但是,至多可以控制  1,200  個通道或五個滿載的機柜。
監控屏幕可以提供有關DUT的測試進度、電阻和變化率的實時信息。
可為每個  DUT  配置電氣參數和時間設置。還可以配置溫度特性測試參數和壓力測試溫度設置。
即使使用具有不同引腳布局的DUT,引腳分配加擾功能也可以評估  ESPEC  DUT  板。
該烤箱能夠測試高達  350°C  的溫度,并在  300°C  時提供  ±3.5°C  的精度高的溫度分布。每個烤箱都配有一個單獨的控制器,用于單獨的溫度設置。
AEM  系列能夠通過在施加溫度和電流時測量電阻來執行四種不同的測試:電遷移、應力遷移、溫度特性  (TCR)  和擠壓。
AEM  系列能夠施加  0.1  mA  和  200  mA  之間的應力電流。
DUT  板和插座連接具有雙觸點結構,可實現更牢固的固定。  ESPEC  的專有設計還可以防止  DUT  斷開連接。這種結構設計保證了在高溫下長期評估的較高可靠性。

*350°C 型號插座(300 mil 和 600 mil)作為標準配備。 也可提供 250°C 型號(600 milonly)(可選)。
被測板
尺寸:220(寬)×465(高)×460(深)mm
重量:約  1.6  公斤。
銅鑲嵌的可靠性問題
銅大馬士革具有低電阻和高可靠性的優點,但是當受到熱應力時,連接多層布線的通孔結構中會出現多種現象。
    安全須知
?不要使用易爆或易燃的樣品,或其中含有此類物質。這樣做可能是危險的,因為這可能導致火災或爆炸。
?樣品中積聚在水箱或排氣管中的蒸汽管道可能會著火并引起火災,因此設備注意要定期清潔。滲入并積聚在設備絕緣層可能導致很嚴重的火災。
主機電腦
?主機PC
軟件:視窗操作系統
測試設置和測試監控管理和數據分析
?不間斷電源
對于主機  PC

?  DUT  板(每個烤箱  8  個板) 
?  安裝  CD
?  用戶手冊
?  電阻檢查板(1塊)
?  被測板 
?  +350°C應用模型(與標準附件相同)
?  +250°C應用模型(DIP28pin/600mil)
?  電阻檢查板
?  統計軟件附加許可證
?  溫度記錄儀(100mm6點型) 
?  無紙記錄儀(外置式)
?  N2  進氣孔
?  降壓變壓器(外置式)
 
?  漏電斷路器
?  高低溫限報警
?  斷線檢測電路
?  獨立式過熱保護器
?  使用看門狗定時器檢測PC凍結
?  3級狀態指示燈
?  緊急停止開關(測試單元)
烤箱單元
?烤箱
溫度范圍:+65  至  +350°C
?連接板
用于DUT板連接包括DUT引腳加擾功能。
測試單元
?電磁模塊
用于DUT功率控制和DUT電阻測量每通道1個恒定電源測試設置和測試監控管理和數據分析
?用于測量的  PC
測量數據聚合和測量控制
?不間斷電源
測量用電腦