HCZD中端探針臺
中端探針臺
     探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
技術參數
產品特點及應用
尺寸:4英寸/6英寸/8英寸;
水平旋轉:可360°旋轉,可微調15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置;
X-Y移動行程:4英寸×4英寸/6英寸×6英寸;
X-Y移動精度:10μm/1μm;
樣品臺Z軸調節:可升降10mm;
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環;
針座平臺:U型針座平臺,**可放置6個探針座;
背電極測試:樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極;
外形尺寸:400mm長*400mm寬*600mm高/
580mm長*480mm寬*600mm高;
設備重量:約40/60KG;
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡;
放大倍率:16X-200X/20X-4000X;
移動行程:X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm;
光源:外置LED環形光源/同軸光源;
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素;
X-Y-Z移動行程:12mm*12mm*12mm;
移動精度:10μm/2μm/0.7μm/0.5μm;
吸附方式:磁力吸附,真空吸附;
線纜:同軸線/三軸線;
漏電精度:10pA/100fA/10fA;
固定探針:彈簧固定/管狀固定;
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子;
針尖直徑:0.2μm/1
μm/2μm/5μm/10μm/20μm;
針尖材質:鎢鋼;鈹銅;
加熱臺;
顯示器;
轉接頭;
射頻測試配件;
屏蔽箱;
光學平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件
;
顯微鏡快速傾仰裝置;
激光系統;
探針卡夾具;
◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;
◆ 可用于8英寸以內樣品測試;
◆ 同軸絲杠傳動結構,線性移動;
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動;
◆ 可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復應用。
臺體規格
光學系統
定位器
可選附件