HCSM雙面探針臺
雙面探針臺
     探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
      雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試,用于需要正面和背面同時扎針,以實現各種光/電性能測試需求的測試設備。該定制探針臺具有優良的機械系統,穩定的結構,符合人體工程學,以及多項升級功能??蓮V泛應用于集成電路、Wafer , LED、LCD、太陽能電池等行業的制造和研究領域。

技術參數
臺體配件技術參數
chuck尺寸:8英寸;
水平旋轉:可360°旋轉,細調精度不大于0.1°,帶角度鎖死裝置;
X-Y移動行程:8英寸×8英寸;
X-Y移動精度:10μm/1μm可選;
樣品臺Z軸調節:可升降10mm;
樣品固定:樣品夾定,尺寸可調;真空吸附固定,卡盤多圈吸附環可獨立控制;
雙面點陣平臺:氣動升降平臺升起為雙平臺,落下可做單平臺使用;平臺針座數量:單平臺**放置8個CB-200針座;
卡盤結構:普通/高溫/帶背電極等結構卡可選擇;

溫度范圍:RT~300℃(400℃、500℃可選);
溫控精度:0.1℃;
溫控穩定性:±1℃;
溫控傳感器:100Ω鉑電阻傳感器;
CCD:200W/500W/1200W像素可選(正反面);
顯微鏡類型:單筒/體視/金相顯微鏡可選;
放大倍率:16X-100X/20X-2000X ;
顯微鏡調節:水平方向繞立柱旋轉X-Y移動2×2英寸,Z軸行程50.8mm;
光源:外置LED環形光源/同軸光源;
屏蔽箱;
高壓測試配件;
光學防震桌;
射頻測試配件;
鍍金卡盤;
轉接頭;
探針卡夾具;
其他
;
顯微鏡類型:L型單筒顯微鏡;
連續變倍率:6.3:1;
放大倍率范圍:0.75-5X;
放大倍率:315X(計算公式:變焦*CCD*顯示器) ;
顯微鏡調節:萬向移動 ;
光源:同軸光源 ;
X-Y-Z移動行程:12*12*12mm;
移動精度:10/2/0.7/0.5/0.35μm可選;
固定方式:磁力吸附/真空吸附可選;
線纜:同軸線/三軸線可選;
漏電精度:10pA/100fA ;
接頭類型:BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子等可選;
材質:鎢鋼/鈹銅可選;
針尖直徑:0.2/1/2/5/10/20/50/100um可選;
臺體規格
溫控系統
正面光學系統
探針可選配件
背面光學系統
探針座
探針夾具
探針