HCGD高低溫探針臺
高低溫探針臺
     探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
技術參數
產品特點及應用
尺寸:6英寸/8英寸/12英寸;
水平旋轉:可360°旋轉,可微調15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置;
X-Y移動行程:6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸;
X-Y移動精度:10μm/1μm;
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環;
針座平臺:U型針座平臺,**可放置6~12個探針座;
平臺升降:可快速升降10mm/可微調升降10mm;
背電極測試:樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極;
溫度范圍:-80℃~+400℃;
溫度精度:0.01℃/0.1℃/1℃;
尺寸:840mm長*600mm寬*700mm高/950mm長*700mm寬*700mm高;
設備重量:約40/60KG;
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡;
放大倍率:16X-200X/20X-4000X;
移動行程:水平方向繞立柱旋轉/XY軸移動4英寸,Z軸行程50.8mm;
光源:外置LED環形光源/同軸光源;
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素;
X-Y-Z移動行程:12mm*12mm*12mm;
移動精度:10μm/2μm/0.7μm/0.5μm;
吸附方式:磁力吸附/真空吸附;
線纜:同軸線/三軸線;
漏電精度:10pA/100fA/10fA;
固定探針:彈簧固定/管狀固定;
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子;
針尖直徑:0.2μm/1
μm/2μm/5μm/10μm/20μm;
針尖材質:鎢鋼;鈹銅;
加熱臺;
顯示器;
轉接頭;
射頻測試配件;
屏蔽箱;
光學平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件
;
顯微鏡快速傾仰裝置;
激光系統;
探針卡夾具;
◆ **可用于12英寸以內樣品測試;
◆ 采用密閉腔結構,屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜;
◆ 優化的腔體保溫結構可以極大的減少液氮消耗量;
◆ 可升降調節適合加裝探針卡;
◆ 可搭配多種類型顯微鏡;
◆ 結構模塊化設計,可無縫升級;
◆ 探針臺可根據客戶要求定制。
臺體規格
光學系統
定位器
可選附件