HCZK高低溫真空探針臺
高低溫真空探針臺
     探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
     因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
     當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至**溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
    晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
技術參數
產品特點及應用
極低溫測試
高溫無氧化測試
尺寸:2英寸/4英寸/6英寸;
水平旋轉:可360°旋轉,可微調15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置;
樣品固定:彈簧壓片;
觀察窗口:
2英寸/4英寸/6英寸;
真空度:10^-6torr ;
探針臂接口:4~6個探針臂接口;
其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口;
制冷方式:液氮/液氦/制冷機;
溫度范圍:77K-573K/4.5K-573K;
溫控精度:0.1K/0.01K/0.001K;
穩定性:±1K/±0.1K/±0.01K;
尺寸:880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高;
設備重量:約100/120KG;
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡;
放大倍率:16X-200X/20X-4000X;
移動行程:水平360°旋轉,Z軸行程50.8mm;
光源:外置LED環形光源/同軸光源;
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素;
X-Y-Z移動行程:50mm*50mm*50mm;
結構:外置探針臂,真空波紋管結構;移動精度:10μm/1μm;
線纜:同軸線/三軸線/射頻線;
漏電精度:10pA/100fA/10fA;
固定探針:彈簧固定/管狀固定;
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子;
頻率支持:DC-67GHZ ;
針尖直徑:0.5μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm;
真空組件:分子泵組/機械泵/離子泵;
冷源組件:50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機;
超高溫配件;
顯示器;
轉接頭;
射頻測試配件;
屏蔽箱;
光學平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件
;
高壓測試配件;
分子泵組;
激光系統;
氣敏測試配件;
◆ 2~6英寸樣品臺;
◆ 高真空腔體;
◆ 防輻射屏設計,樣品溫度均勻性**;
◆ 77K-675K高低溫環境;
◆ 兼容IV/CV/RF測試;
◆ 外置多探針臂,移動行程大;
◆ 經濟實用,可無縫升級。
臺體規格
光學系統
定位器
其他組件
可選附件